真空無氧烘箱，無氧化真空烤箱用于PI膠、BCB膠固化，鍵合前鍵合材料的真空處理，ITO膜退火，PR膠排膠固化等特殊工藝。

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產品詳情

真空無氧烘箱，無氧化真空烤箱簡介：

真空無氧烘箱，無氧化真空烤箱是一種定制真空烤箱。將高純度氮氣充入烤箱內部，從而置換腔內空氣降低氧濃度，來防止部分物料在高溫環境下加速氧化的現象。烤箱抽取真空后，充入氮氣，再抽取真空，多次循環后可以確保烤箱的工作室處于無氧的狀態，避免活性較強的物料在高溫有氧的環境下被氧化而損壞。

無氧化真空烤箱用于PI膠、BCB膠固化，鍵合前鍵合材料的真空處理，ITO膜退火，PR膠排膠固化等特殊工藝。廣泛應用于半導體、電子產品、醫療衛生等行業，適用于工廠、高等院校、科研等場所。

真空無氧烘箱，無氧化真空烤箱技術指標：

工作室尺寸（mm）	450×450×450，600×600×600，可定制
箱體材質	內箱采用316L醫用級不銹鋼，外箱采用優質冷軋板靜電噴塑或不銹鋼
溫度范圍	RT+10-300/400/500℃
溫度分辨率	0.1℃
溫度波動度	≤±1℃
升溫速率	≤5℃/min
降溫速率	特殊要求數據
真空度	≤133pa或要求數據
電源	AC220V、 380V±10% / 50HZ
控制儀表	人機界面，可校準溫度控制器，PID自整定等功能
擱板層數	不銹鋼托盤2層或多層
真空泵	油泵/干泵自選
腔門密封圈	采用耐高溫硅橡膠密封圈
狀態指示燈	配有三色指示燈及蜂鳴器來提示機臺運行狀態
氧含量	20PPM，可檢測，實時顯示
潔凈度	Class100、1000級
降溫系統	風冷+水冷
氮氣控制	可程序自動控制
安全保護裝置	安全的接地保護裝置，超溫保護及報警裝置，漏電保護裝置

上海雋思儀器專為半導體生產烘烤制程設備定做服務，無氧烤箱，真空無氧化烤箱，無氧真空烘箱，無塵烤箱，無塵無氧烤箱，真空無氧固化烤箱，PI烤箱，潔凈烘箱，氮氣烤箱，隧道烘爐，HMDS真空烤箱等。

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