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硅片潔凈烘箱，半導體百級潔凈烤箱用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫藥、實驗室等生產及科研部門；也可用于非揮發性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗
產品型號：廠商性質：生產廠家更新時間：2025-09-16訪 問 量：1938
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硅片潔凈烘箱，半導體百級潔凈烤箱概述
硅片潔凈烘箱，半導體百級潔凈烤箱用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫藥、實驗室等生產及科研部門；也可用于非揮發性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。
參數
主要技術指標
Ø 無塵等級：Class 100;
Ø 溫度均勻度：±2℃;
Ø 溫度波動度：±0.5℃（空載）；
Ø 溫控精度：±0.1℃;
Ø 進風口：φ6mmN2進氣、流量計控制;
排風口： φ3”排風管（外接φ5＂法蘭）;
箱體結構
a) 烘箱由箱體部分、電器控制柜、電加熱、過濾器及風道系統組裝而成
結構合理，外觀美觀大方；
b) 箱體材料：外箱采用優質冷軋板噴塑，可防止微塵；
c) 內膽材料：采用優質SUS304鏡面不銹鋼板，并經堿 性蘇打水清潔
去油污避免烘烤PARTICLE；
完善的安全保護措施
漏電斷路器、控制線路保險絲裝置、 超溫防止保護裝置（上限220℃）、 電熱過電流保護裝置、馬達過電流保護、 反向保護裝置、內襯防火材料、機臺異常蜂鳴器、門面安全開關。
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