HMDS鍍膜機

通過對烘箱預處理過程的工作溫度、處理時間、處理時保持時間等參數的控制可以在硅片、基片表面均勻涂布一層HMDS，降低了HMDS處理后的硅片接觸角，降低了光刻膠的用量，提高光刻膠與硅片的黏附性。

HMDS鍍膜機

1)設備外殼采用醫用級不銹鋼304不銹鋼材質制作，內膽為不銹鋼316L材料制成；采用C型不銹鋼加熱管,均勻分布在內膽外壁，內膽內無任何電氣配件及易燃易爆裝置；采用鋼化、防雙層玻璃觀察窗,便于觀察工作室內物品實驗情況。2)箱門閉合松緊能調節，整體成型的硅橡膠門封圈，確保箱內保持高真空度。3)采用微電腦PID控制,系統具有自動控溫,定時,超溫報警等,采用LCD液晶顯示,觸摸式按鈕,簡單易用,性能穩定.4)智能化觸摸屏控制系統配套日本三菱PLC模塊可供用戶根據不同制程條件改變程序、溫度、真空度及每一程序時間。5)HMDS氣體密閉式自動吸取添加設計，使真空箱密封性能*，確保HMDS氣體無外漏顧慮。6)整個系統采用優質醫用級316L不銹鋼材料制作，無發塵材料，適用百級光刻間凈化環境。

技術參數