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  • 堅膜烘箱，氮氣堅膜烤箱 工業烘箱
    堅膜烘箱，氮氣堅膜烤箱的作用是在一定的溫度下,對顯影后的襯底進行烘焙。這將使光刻膠的表面在表面張力的作用下而圓滑化,并使光刻膠層中的缺陷(如針孑L)因光刻膠表面的圓滑化而減少,并可借此修正光刻膠圖形的邊緣輪廓。
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    2025-09-17
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  • 無氧固化爐,高溫無氧化固化烤箱 工業烘箱
    無氧固化爐,高溫無氧化固化烤箱應用半導體晶片、半導體封裝和MEMS器件的批量生產。主要用于PI/CPI固化，BCB固化，PBO固化，LCP纖維熱處理。
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  • 雙腔無氧烤箱，兩箱無氧烘箱 工業烘箱
    雙腔無氧烤箱，兩箱無氧烘箱單腔內尺寸：W450×D450×H450，上下層兩個腔體，可定制其他尺寸，多腔體
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  • 鈮酸鋰無氧化烘箱 工業烘箱
    鈮酸鋰無氧化烘箱用于半導體晶片、半導體封裝和MEMS器件的批量生產。主要用于聚酰亞胺PI膠、CPI膠、BCB膠固化、低K電介質固化，LCP材料熱處理、鍵合材料預處理，FOWLP扇出封裝，ITO膜/鋁/銅退火，PBO膠固化等特殊工藝。
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  • PI固化高溫烘箱，聚酰亞胺厭氧烤箱 工業烘箱
    PI固化高溫烘箱，聚酰亞胺厭氧烤箱用于半導體/三代半導體/新材料/新能源等行業。BCB、PI、CPI、PBO膠固化，LCP新材料、鋰電池等產品熱處理
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