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HMDS烘箱

HMDS鍍膜機 HMDS預處理系統 HMDS烤箱 HMDS預處理烘箱

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JS光伏電池片HMDS處理系統，HMDS預處理烘箱

光伏電池片HMDS處理系統，HMDS預處理烘箱就是涂膠前要進行增粘處理。由于襯底表面吸水特性，使疏水的光刻膠無法與親水的晶圓表面結合良好。未經過HMDS表面處理的晶圓在后道工藝中容易造成漂條、浮膠等，導致光刻圖形轉移的失敗，同時濕法腐蝕容易發(fā)生側向腐蝕。

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更新日期
2025-09-17

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2025-09-17

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2025-09-17

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桌上型HMDS烘箱，小型HMDS真空烤箱采用HMDS涂布方法改變晶圓表面的親水性，從而增大晶圓表面的接觸角），增強光刻膠和晶圓的粘附力。

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