高溫無氧化烤箱又稱為無氧化烘烤箱或高溫烘箱，是一種在烘焙過程中有效減少甚至消除氧化的關鍵設備。具有節(jié)能、精確的溫度控制、有效的抗氧化保護和多功能性等特點。
厭氧烤箱是用來在半導體芯片制造前段制程中旋涂工藝(即涂布工藝)時，進行無氧烘箱、潔凈無氧烘箱處理的設備。旋涂工藝需要先將原材料溶解在溶劑中，然后將晶圓表面向上固定在真空吸盤上，滴下固定量的材料，再在旋涂機上高速旋轉，從而在晶圓表面形成厚度均勻的薄膜。之后，使用厭氧烤箱在300~400℃條件下進行熱處理，去除殘留的溶劑并使薄膜變得穩(wěn)定。
一、特點
高效節(jié)能：一般采用高效熱管技術和先進的保溫材料，使得熱能得到利用，能源消耗低。
溫度控制精確：具備精準的溫度控制系統(tǒng)，能夠將溫度精確控制在一定范圍內，確保烘焙食品烘烤均勻。
減少氧化：傳統(tǒng)烤箱在烘焙過程中會使食品暴露在空氣中，導致氧化。而高溫無氧化烤箱通過特殊的密封設計和高效熱風循環(huán)系統(tǒng)，有效減少甚至消除氧化。
多功能：具備多種烘焙模式和功能，如上下獨立控溫、熱風循環(huán)、發(fā)酵等，可以滿足不同烘焙需求。
二、工作原理
高溫無氧化烤箱采用先進的熱風循環(huán)技術，通過將熱風在密封的烘烤室中循環(huán)，使得食品均勻受熱，同時減少與氧氣的接觸。此外，一些烤箱還采用了氮氣或惰性氣體置換技術，進一步降低氧化速率。
三、應用
廣泛應用于食品工業(yè)生產(chǎn)中，如面包、餅干、糕點等各類烘焙食品的烘焙。同時，由于其精準的溫度控制和多功能性，也受到家庭烘焙愛好者的歡迎，成為制作糕點、面包等食品的重要工具。
更新時間：2023-09-21 
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